清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到油泵、螺桿泵、活塞泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

??①.無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；

??②.抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；

??③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差?。淮髿馀c真空之間由O型圈密封，泄漏低；

??④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動??；

??⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；

??⑥.體積小，維修方便，維護費用低；

??⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。

??目前無油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域為:

??①.半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；

??②.科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；

??③.機械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；

??④.化學(xué)工業(yè)；

??⑤．醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；

??⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。