1、真空設(shè)備部件材質(zhì)的要求。

如酸堿氣體需要有對應的防腐涂層或泵的材質(zhì)改用不銹鋼防腐蝕；帶有灰塵或顆粒的氣體時，要在泵入口前加除塵器、過濾器或泵本身對其有耐受性等等。若設(shè)備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，若要求不嚴格，可以選擇有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

真空度計算方式： 真空度=大氣壓強-絕對壓強(大氣壓強一般取101325Pa，水環(huán)式真空泵極限絕對壓強3300Pa；旋片式真空泵極限絕對壓強約10Pa)

機械手無油真空泵

2、抽氣量：抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m/h來表示。是彌補漏氣率的參數(shù)。

真空泵的要能夠保證抽出工藝過程中的氣體，真空泵選型也要保證真空泵的適用性，就需要了解氣體中是否含有可凝氣體、是否含有粉塵顆粒、是否具有腐蝕性、易燃易爆等；如果氣體中含有可凝性氣體和顆粒塵埃，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝如冷凝器、除塵器等輔助裝置；如果抽取氣體含有腐蝕性，則須選用可靠材質(zhì)；若抽取的氣體具有爆炸性，則應該選擇水環(huán)式真空泵，配備防爆電機，水環(huán)式真空泵在工作過程中是等溫的。

3、極限相對壓強：相對壓強即所測內(nèi)部壓強比“大氣壓”低多少壓強。表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽，因此，內(nèi)部的壓強始終低于容器外部壓強。

當用相對壓強或者表壓強表示的時候，數(shù)值前面必須帶負號，表示容器內(nèi)部壓強比外部壓強低。

4、真空度：處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用真空度表示。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空泵選型時的極限真空度是泵抽速為零的時候所能達到的真空度，必須高于工藝生產(chǎn)要求的真空度，至少要高一個數(shù)量級，真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強，業(yè)界也稱為極限相對壓強，并且設(shè)備適合在要求的工作真空度范圍內(nèi)工作。

例如：真空鍍膜要求1×10-5 mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6 mmHg。

通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。

5、極限絕對壓強：絕對壓強即所測內(nèi)部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態(tài)的絕對真空壓強值。

真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當用絕對真空表示時，數(shù)值前面無負號。

6、真空泵工作時產(chǎn)生的振動。

真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，對于環(huán)境不允許時，可以選擇無振動的泵或者采取減震措施。

7、準確地組合真空泵。

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，可以把多種泵組合成組合泵，互相補充達成抽氣目的。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣互相補充才能滿足抽氣要求。

前級泵在主泵出口處產(chǎn)生的壓力要比主泵所排出的最大排氣壓力低，前級泵應保證能夠及時排出主泵所排出的氣體，最后，兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間和預抽真空度的要求。

8、所選真空泵的價錢、運行及維護費用。

真空泵選型過程中，多種真空泵能同時滿足工藝需求時，要進行成本和運轉(zhuǎn)費用的經(jīng)濟性分析，選用經(jīng)濟性好，運行可靠，維修量小，使用與維修方便的真空泵。

9、正確地選擇真空泵的工作點。

每種泵都有一定的工作壓強范圍，

例如：擴散泵為10-3 ~10-7 mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而 變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6 mmHg。

因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)，而不能 讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5 mmHg為好。

10、真空設(shè)備對油污染的要求。 若設(shè)備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋 油阱等，也能達到清潔真空要求。

11、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。 選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。·

12、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。 如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

13、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。