干式真空泵較為明顯的才能就是不用水來(lái)做介質(zhì)，與傳統(tǒng)的真空設(shè)備相比，它能夠有效的節(jié)約水資源，減少企業(yè)的能源耗費(fèi)，真正使企業(yè)的消費(fèi)愈加的環(huán)保，并且能夠提升企業(yè)消費(fèi)開(kāi)展的才能。同時(shí)，在不時(shí)開(kāi)展的優(yōu)勢(shì)實(shí)力下，干泵的性能曾經(jīng)充沛表現(xiàn)出其本身的優(yōu)勢(shì)，要加大對(duì)產(chǎn)品應(yīng)用開(kāi)發(fā)才能的重要性，針對(duì)企業(yè)消費(fèi)的需求，加大對(duì)技術(shù)優(yōu)勢(shì)才能的不時(shí)帶動(dòng)，進(jìn)步產(chǎn)品消費(fèi)才能的有效展示。

       以干式真空泵的整體程度，加快產(chǎn)品消費(fèi)的才能，加強(qiáng)其各方面應(yīng)用實(shí)力的表現(xiàn)，依據(jù)國(guó)內(nèi)的行業(yè)狀況，加大對(duì)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的投入，積極學(xué)習(xí)各方面先進(jìn)的技術(shù)，加強(qiáng)自我開(kāi)發(fā)的才能，從而表現(xiàn)出干泵的性能。

       如今能夠看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有特性和優(yōu)缺陷。不斷以來(lái)會(huì)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶認(rèn)識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性思索進(jìn)去。由于真空泵的不測(cè)出錯(cuò)會(huì)引起機(jī)器的運(yùn)用效率降低，影響到晶圓的消費(fèi)和交貨期，以至形成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的運(yùn)用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和未來(lái)的維修本錢上有很大的優(yōu)勢(shì)。

      關(guān)于這些不同類型的干式真空泵，我們都盼望可以將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，由于真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個(gè)影響真空泵的抽氣速率的重要要素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需求進(jìn)步它的轉(zhuǎn)速。而想要改動(dòng)真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種辦法，一是改動(dòng)電源的頻率，即采用變頻器;二是改動(dòng)齒輪箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的益處是能夠提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易惹起扭距的損失。而改動(dòng)齒輪箱的傳動(dòng)比是一種十分經(jīng)濟(jì)的辦法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。