無油式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及安裝維護(hù)注意點(diǎn)      清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點(diǎn):     ①.無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；    ②.抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；    ③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差??；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；    ④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小；    ⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；   ⑥.體積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；   ⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。   無油渦旋真空泵應(yīng)用在    ①.半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；    ②.科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；   ③.機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；   ④.化學(xué)工業(yè)；    ⑤．醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；   ⑥．包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。   無油渦旋真空泵主要由5個部件組成：   ①．動靜渦旋盤付與基座；   ②．曲軸；   ③．密封墊；   ④．防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；   ⑤．電機(jī)。    無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交*組裝在一 起，兩者之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180。相位差，這樣結(jié)合組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對稱的幾對月牙腔，動渦旋盤在曲軸的驅(qū)動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動，使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面 移動實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級無油渦旋真空泵中，有兩個方向?qū)?yīng)的靜渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的動渦旋盤。

下面以普通旋片真空泵為例，說明其差別：     無油渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)主要包括：    ①.密封性良好,沒有向機(jī)械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道,容易密封,容易達(dá)到較高的真空度；    ②.回轉(zhuǎn)半徑小，動靜渦旋盤相對滑動速度僅為旋片真空泵的1/7左右，動靜渦旋盤之間的動密封相對容易，有利于延長泵的使用壽命；    ③壓縮進(jìn)程必較緩慢，有2個或者3個壓縮過程同時進(jìn)行，壓縮腔相對曲軸對稱，這樣泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過程平穩(wěn)、驅(qū)動力矩和氣體沖擊波動小，使泵的噪音和振動降低。   總而言之，無油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)簡單、具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；動靜渦旋盤之間間隙小、泄漏少，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小,振動噪聲低，可*性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。    由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真 空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體 晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對 測試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的 環(huán)境污染與煩惱?，F(xiàn)有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性。